ITO激光刻蚀机

激光器类型:光纤激光器(可搭载紫外激光器) 采用可调脉宽光纤激光器,也可以选用紫外激光器,应用于银浆、ITO、FTO、CNT碳纳米管、石墨烯、纳米银、高分子导电膜、铜薄膜、铝薄膜、钼铝钼薄膜等材料刻蚀。

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适用于银浆、ITO、FTO、CNT碳纳米管、石墨烯、纳米银、高分子导电膜、铜薄膜、铝薄膜、钼铝钼薄膜等
 
设备特点
1、激光蚀刻为干式蚀刻,加工制程简单,所有加工均由软件自动控制,产品一致性高,良率高达99%。
2、最小蚀刻线宽20μm,支持银浆线路和ITO一次性同时蚀刻,轻松实现单层多点电容屏sensor线路蚀刻。
3、CCD视觉自动寻靶,一次性可加工650mm×550mm范围,拼接精度≤±3μm。
4、支持多种视觉定位特征,500万像素单点抓靶时间小于1秒钟,克服了印刷变形过大导致激光蚀刻偏位的问题,定位精度≤±3μm。
5、激光蚀刻机5万小时无耗材,免维修,使用成本低,替代黄光制程。
 
应用行业
1.电阻式、电容式触摸屏银浆线路蚀刻、修复;
2.ITO及各类金属导电膜线路激光蚀刻;
3.PCB行业薄膜电路光刻掩膜板激光蚀刻成型;
4.太阳能光伏硅基板薄膜电路蚀刻。
 
技术参数
激光器 光纤激光器 紫外激光器
激光波长 1064nm 532nm
激光功率 10/20W 10W
聚焦光斑 ≤0.02mm
激光频率调节范围 20K-100KHz
刻蚀线宽 20μm
刻蚀速度 4000mm/s(视材料、参数而定)
加工范围 500mmX500mm(可根据客户要求定制)
单次最大幅面 140mmX140mm  (可选配)
功率消耗 <2KW
CCD自动定位精度 ±2μm
直线电机工作台定位精度 ±2μm
直线电机工作台重复精度 ±1um
设备尺寸 1650mmL×1300mmW×1670mmH
设备重量 2000kg
可处理文件格式 标准Gerber文件,DXF文件,PLT文件等

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